基础科研条件与重大科学仪器设备开发课题方向

　　基础科研条件与重大科学仪器设备开发课题方向？重点支持高端科学仪 器工程化研制与应用开发，研制可靠、耐用、好用、用户愿 意用的高端科学仪器，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装备水平，促进产业升级发展，支撑创新驱动发展战略实施。具体详情一起跟平台课题顾问看看以下几点。

　　1、辉光放电质谱仪

　　研究内容：针对半导体高纯材料、高纯合金、绝缘固体 样品等材料中主成分、微量和痕量元素检测需求，以及针对 材料剥层分析、材料元素深度分布检测、涂层材料表面分析、 材料表面微区分析等需求，突破直流辉光放电离子源、绝缘 固体第二阴极系统、高分辨电磁双聚焦质量分析器、法拉第 3 杯与电子倍增管双检测器等关键技术，开发具有自主知识产 权、质量稳定可靠、核心部件国产化的辉光放电质谱仪产品， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业 化推广，实现在半导体、高纯稀土、高温合金等材料科学研 究领域的应用。

　　2、第三代基因测序仪

　　研究内容：针对 DNA 基因测序的无扩增、长读长直接 测序、大容量生物特征信息获取等检测需求，突破 DNA 精 确长读长直接测序、毫秒级时间内皮安量级脉冲微小特征阻 塞电流测量、皮安量级脉冲微小电流原位计量校准等关键技 术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产 化的第三代基因测序仪，开发相关软件和数据库，开展工程 化开发、应用示范和产业化推广，实现在基因工程、病毒检 测、生物安全检测等领域的应用。

　　3、超高分辨活细胞成像显微镜

　　研究内容：针对实时观察活细胞精细结构动态变化的检 测需求，突破超高分辨活细胞成像显微、精密光机电控制、 图像实时处理和成像标定等关键技术，开发具有自主知识产 权、质量稳定可靠、核心部件国产化的超高分辨活细胞成像 显微镜产品，开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应 用示范和产业化推广，实现在细胞学、微生物学、生物物理 学和药理学等领域的应用。

　　4、核磁共振波谱仪

　　研究内容：针对化学分析、生物分子结构、代谢混合物 组分等检测需求，突破超高场稳态磁体设计与制造、高精度 磁共振谱仪控制、高效射频激发与接收等关键技术，开发具 有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的核磁共 振波谱仪产品，开发相关软件和数据库，开展工程化开发、 应用示范和产业化推广，实现在化学化工、生命医学、食品 制药和环境能源等领域的应用。

　　5、5 宽频带取样示波器

　　研究内容：针对 5G 移动通信、光纤通信设备和高速网 络设备的宽带模拟电路和高速数字电路开发与检测需求，突 破 85 GHz 采样器、超低抖动时钟产生与触发、高速时钟恢复、高精度波形采集与恢复、信号完整性分析等关键技术， 开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的 宽频带取样示波器，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在光纤通信、5G 移动通 信、雷达、卫星通信与卫星导航等领域的应用。

　　6、高灵敏手性物质离子迁移谱与质谱联用仪

　　研究内容：针对生物样品分析、临床诊断和药物开发等 领域对手性分子同分异构体快速识别、高灵敏高准确定量分 析的需求，突破离子迁移过程模型仿真与控制、手性物质高 选择性试剂制备、手性气相离子高效选择性存储、高分辨手 性气相离子构型差异分析与质量分析等关键技术，开发具有 自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高灵敏手 性物质离子迁移谱与质谱联用仪，开发相关软件和数据库， 开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在生命科学、 临床医学和药物学等领域的应用。

　　7、7 复杂微结构三维光学显微测量仪

　　研究内容：针对光电探测器、MEMS 微系统、半导体集 成电路等微小型器件和光学器件表面和亚表面缺陷检测需 求，突破高倾斜光滑微结构、深 V 结构、混合材料层叠微结 构、层叠结构亚表面等复杂微结构三维几何形状表征、三维 几何参数精密测量、亚表面缺陷检测等关键技术，开发具有 自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的复杂微结 构三维光学显微测量仪，开发相关软件和数据库，开展工程 化开发、应用示范和产业化推广，实现在超光滑光学表面损 伤、半导体集成电路、光电集成电路等领域的应用。 考核指标：显微视场≥100μm×100μm；水平方向表面显 微分辨率 250 nm；水平方向亚表面显微分辨率 400 nm；垂 直方向分辨率 5 nm～20 nm；光滑微结构测倾斜角度≥50°；单一材料台阶高度测量误差≤5%；多层材料测量误差≤10%；亚表面缺陷检测深度≥110 μm；缺陷检出灵敏度≥200 nm；深 度定位精度≤2 μm；高能损伤缺陷判定准确率≥80%。项目完 成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间 ≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域 或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量， 具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用， 满足用户使用要求。

　　8、聚焦离子束/电子束双束显微镜

　　研究内容：针对集成电路芯片设计修正和失效分析、样 品 3D 重构、透射电镜样品制备等微纳尺度检测需求，突破 高分辨率聚焦离子束、高分辨率场发射电子束获得等核心技 术，开发具有自主知识产权、性能稳定可靠、核心部件全部 国产化的聚焦离子束/电子束双束显微镜，开发相关软件，开 展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在微电子、光 电子、微米纳米材料等领域的应用。

　　9、高性能流式细胞分选仪

　　研究内容：针对生物工程、生物安全检测、医学研究等 行业血液和细胞分析需求，突破单细胞多色荧光高效分光、 百万量级细胞数据处理、微流控细胞分选等关键技术，开发 具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的 高性能流式细胞分选仪，开发相关软件和数据库，开展工程 化开发、应用示范和产业化推广，实现在生物工程、生物安 全检测、医学研究等领域的应用。